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汞CV測試系統

簡要描述:汞CV測試系統,用于對外延或前道工藝中的non-pattemed晶片做汞C-V測試;

MCV-530L可測最大200mm的樣品。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-12-19
  • 訪  問  量:236

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詳細介紹

品牌波銘科儀價格區間面議
應用領域醫療衛生,環保,食品,生物產業,綜合

Capability:

  • Epi layer characterization
    -Dopant Profile-N(x)
    -Resistivity Profile-p(x)

  • Gate metrology
    -Oxide thickness-EOT
    -Flatland, threshold voltage-VFB,VT
    Effective oxide charge-QEFF
    -Dielectric constant-k
    -Interface state density-Dit

  • IV measurements of low-k dielectricsStepped voltage, stepped current,
    .Constant current modes
    -Leakage current-lL
    -VBDfor HMET
    -Field-to-breakdown-FBD
    -KSB, tsb,QBD, Vmax

汞CV測試系統 汞CV測試系統









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